真空泵选型应从目标工作压强和实际工艺条件出发，综合评估以下九个方面。
- 真空泵的工作压强应满足真空设备的极限真空和工作压强要求。通常，泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
- 正确选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，应让泵在稳定的工作压强范围内运行，避免长期处于范围边缘。
- 真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
- 正确组合真空泵。某些情况下，一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵互相补充；有的泵不能在大气压下工作，需要预真空或前级泵。
- 考虑真空设备对油污染的要求。严格要求无油时，应选择水环泵、吸附泵、离子泵或低温泵等无油方案；要求不严格时，也可对有油泵增加冷阱、障板或挡油阱等措施。
- 了解被抽气体成分，包括可凝蒸气、颗粒灰尘和腐蚀性气体，并根据需要在进气管路安装冷凝器、除尘器等辅助设备。
- 评估真空泵排出的油蒸气对环境的影响。如环境不允许污染，可选择无油真空泵，或将油蒸气排到室外。
- 评估真空泵运行时的振动对工艺过程和环境的影响。若工艺不允许振动，应选择低振动设备或采取防振措施。
- 综合比较真空泵的购买价格、运行费用和维修费用。